MILA-700AR風冷桌面型快速退火爐 |
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分類 | Advance Riko 紅外金面反射爐 |
型號 | MILA-700AR |
品牌 | Advance Riko |
產地 | 日本,進口 |
MILA-700AR風冷桌面型快速退火爐
MILA-700AR是一款風冷桌面型的快速退火爐。相較于MILA-5000,該設備加熱過程中不需要外接水冷,可由設備自身配置的風冷系統(tǒng)進行降溫。
應用 |
特點: |
1. 晶圓,復合晶圓的快速加熱 |
1. 50°C / s快加熱 |
2. 光化學氣相沉積襯底加熱 |
2. 可在真空,惰性氣體,流動氣氛,空氣的氣氛下進行加熱 |
3. 熱循環(huán)測試 |
3. 精確的溫度控制 |
4. 涂膜的耐熱性評估 |
4. 緊湊的臺式設計,工作無需匹配水冷循環(huán)系統(tǒng) |
5. 有機材料和樹脂的加熱和干燥 |
參數