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產品詳情 PRODUCT

MILA-700AR風冷桌面型快速退火爐

分類 Advance Riko 紅外金面反射爐
型號 MILA-700AR
品牌 Advance Riko
產地 日本,進口

產品簡介

 

MILA-700AR風冷桌面型快速退火爐

 

MILA-700AR是一款風冷桌面型的快速退火爐。相較于MILA-5000,該設備加熱過程中不需要外接水冷,可由設備自身配置的風冷系統(tǒng)進行降溫。

 

應用

特點:

1. 晶圓,復合晶圓的快速加熱

1. 50°C / s快加熱

2. 光化學氣相沉積襯底加熱

2. 可在真空,惰性氣體,流動氣氛,空氣的氣氛下進行加熱

3. 熱循環(huán)測試

3. 精確的溫度控制

4. 涂膜的耐熱性評估

4. 緊湊的臺式設計,工作無需匹配水冷循環(huán)系統(tǒng)

5. 有機材料和樹脂的加熱和干燥

 

 

參數

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