ALD原子層沉積設(shè)備廠家
發(fā)表時間:2023-08-27
ALD原子層沉積設(shè)備廠家有以下幾個:
* 日本AGUS
* PICOSUN:提供原子層沉積系統(tǒng)ALD PICOSUN ALD R-200系列和ALD R-300 Pro。
* 深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司。
* 德國Sentech。
* 美國泛林(Lam)。
* 應(yīng)用材料(AMAT)。
* Eugenus Veeco。
* Beneq(已被中車收購)。
* Leadmicro(江蘇微導(dǎo))。
* 北方華創(chuàng)。
* 理想能源。
* Oxford Instruments。
* FORGE NANO。
* Solaytec NCD。
除上述外,ald原子層沉積設(shè)備廠家還有ASM International、TOKYO ELECTRON等。